داخل دیا 123 میلی متر فولاد ضد زنگ چگالی بالا را هدف قرار می دهد

OD150*ID123*1091 فولاد ضد زنگ 304 لوله لوله فولادی ضد زنگ

مواد مورد نظر در صنعت نیمه هادی هامواد نیمه رسانا را می توان به مواد ویفر و مواد بسته بندی تقسیم کرد.مواد بسته بندی در مقایسه با مواد تولید ویفر موانع فنی کمتری دارند. هفت نوع مواد نیمه هادی و مواد شیمیایی در تولید ویفر وجود دارد که یکی از آنها پاشیدن مواد هدف است. ماده مورد نظر ، ماده ای است که توسط ذرات باردار با سرعت بالا بمباران می شود. با تغییر مواد مختلف هدف (مانند آلومینیوم ، مس ، فولاد ضد زنگ ، تیتانیوم ، اهداف نیکل و غیره) می توان سیستم های مختلف فیلم (مانند فیلم های آلیاژی فوق سخت ، مقاوم در برابر سایش ، مقاوم در برابر خوردگی و غیره) بدست آورد.

خلوص یکی از شاخص های اصلی عملکرد مواد مورد نظر است ، زیرا خلوص مواد مورد نظر تأثیر زیادی بر عملکرد فیلم دارد. اما در عمل ، الزامات خلوص مواد مورد نظر نیز متفاوت است. ناخالصی در مواد جامد و اکسیژن و بخار آب در منافذ منابع اصلی رسوب فیلم هستند. به منظور کاهش تخلخل مواد جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پاشش ، مواد مورد نیاز معمولاً دارای چگالی بالا هستند. چگالی نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد مواد مورد نظر است. چگالی مواد مورد نظر نه تنها بر میزان پاشش بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم های نازک نیز تأثیر می گذارد. هرچه تراکم هدف بیشتر باشد ، عملکرد فیلم بهتر است. علاوه بر این ، چگالی و استحکام ماده مورد نظر را می توان با مقاومت بیشتر مواد مورد نظر در برابر تنش های حرارتی در هنگام پاشش ، بهبود بخشید.